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製品技術紹介-カーボン(グラファイト)加工

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製品情報

カーボン(グラファイト)加工

特徴 電気・熱の良導体で有ると同時に、耐熱性・耐蝕性・潤滑性その他数々の特異な性質を持ちます。
用途 半導体製造用・電熱化学・冶金用・電気化学・機械用等

カーボン(グラファイト)加工

カーボン製品表面処理

1.SICコート 2.PBNコート 3.GCコート

特徴 耐熱性・耐薬品性に優れ、 材料からのダスト・アウトガスの発生を抑えます。
用途 Siエピタキシャル成長用サセプター他半導体製造装置・化合物系半導体製造装置部品及び耐食性・耐熱性部品等

C/Cコンポジット・・黒鉛を炭素繊維で補強した新素材

C/Cコンポジット

特徴 高温域で強度が増し、熱膨張による変形が無く金属よりも軽量で高純度処理ができます。
用途 焼結用棚板・敷板・ボルト・ナット・ヒーターその他高温域部材

断熱材

断熱材

フェルト カーボン繊維をニードルパンチして作った物で2000℃以上の高温用断熱材として使用されています。
成形断熱材 フェルト基材に炭化率の高い樹脂を含浸、成形、黒鉛化処理を施したもので、各種工業炉の断熱材として使用されます。
用途に応じて無処理品・コート処理品・黒鉛シート(クロス)張り等があり、形状は平板、円板、円筒等の種類があります。

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